從NATURE發(fā)文到高效實(shí)驗(yàn) | 雷博科儀勻膠機(jī)如何助力科研突破？

更新日期：2025-12-23 點(diǎn)擊次數(shù)：333

傳統(tǒng)設(shè)備在高速旋轉(zhuǎn)涂布時(shí)，容易出現(xiàn)膜厚不均、熱烘溫度波動(dòng)大等問(wèn)題。雷博科儀勻膠機(jī)腔體采用特殊設(shè)計(jì)，在納米壓印工藝上能夠保持優(yōu)異的均勻性：

A.勻膠均勻性：8寸晶圓，BKM數(shù)據(jù)可達(dá)±1.1%。

4寸晶圓BKM數(shù)據(jù)：片內(nèi)±0.49%，片間±0.55%。

6寸晶圓BKM數(shù)據(jù)：片內(nèi)±0.76%，片間±0.91%。

8寸晶圓BKM數(shù)據(jù)：片內(nèi)±0.92%，片間±1.10%。

B.面板均勻性：8/12寸圓形區(qū)域內(nèi)，BKM數(shù)據(jù)可達(dá)≤±1%。（溫度分辨率：0.1℃，控溫精度：±0.2℃，線性升溫范圍：0.5℃/min~10℃/min，線性區(qū)域內(nèi)）

雷博

勻膠機(jī)發(fā)文于NATURE期刊

勻膠機(jī)

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AC200勻膠機(jī)（定制機(jī)）

針對(duì)AZ 5214E這款膠液，8寸片2µm膜厚，雷博科儀AC200勻膠機(jī)能夠保持出色的均勻性：

片內(nèi)均勻性：BKM 0.54%，片間均勻性：1.14%。

4寸晶圓均勻性：±0.39%

8寸晶圓均勻性：±1.3%

勻膠機(jī)

零部件選材

1. 腔體用HDPE材質(zhì)（耐酸性和耐堿性?xún)?yōu)于PP）。

2.塑料載物盤(pán)選用PPS材質(zhì)（耐化學(xué)腐蝕性?xún)?yōu)于PP，高溫和高濕度條件下比PP有更好的絕緣性，具有良好的難燃燒性能）。

3.主軸電機(jī)采用高精度伺服電機(jī)，配合自研控制算法，高轉(zhuǎn)速（10000rpm）下也可穩(wěn)定保持小于1rpm的偏差，以及穩(wěn)定的加速度輸出。

4.防堵膠設(shè)計(jì)，大容量集液瓶大幅延長(zhǎng)維護(hù)周期（同樣使用頻率下，我司1月1次）。

5.排廢和抽風(fēng)獨(dú)立分開(kāi)，避免污染影響抽風(fēng)管路。

6.設(shè)備可開(kāi)蓋/閉蓋運(yùn)行，適應(yīng)更多應(yīng)用環(huán)境。

7.標(biāo)配無(wú)油真空泵，建立真空無(wú)需再通入壓縮空氣等。

8.扁平化UI設(shè)計(jì)，一鍵式操作模式，極易上手，幾乎沒(méi)有操作學(xué)習(xí)成本。

9.藥液閥選用一線進(jìn)口品牌CKD、小金井等，供液和回吸穩(wěn)定可靠（定制型號(hào)）。

10.半自動(dòng)化擺臂設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)定點(diǎn)、擺動(dòng)、滑動(dòng)多種滴膠方式（定制型號(hào)）。

11.家族化統(tǒng)一風(fēng)格外觀設(shè)計(jì)，外殼噴塑工藝，耐腐。

勻膠機(jī)

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